国内首全自主研发的电子级硅芯清理洗涤设施即将交付客户

  近日，公司子公司常州捷佳创精密机械有限公司国内首全自主研发的电子级硅芯清理洗涤设施成功下线，将于近日部署至某合作客户处。

  此款硅芯清理洗涤设施是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蚀清理洗涤设施，用于清洗硅芯表面有机物、氧化物和金属离子，采用碱洗、酸洗、超声、机能水等工艺，产品可用于高纯光伏硅片与半导体硅片的生产制程，清洗后总表金属≤0.2ppbm。

  内部流场的全新设计，搭配更高效FFU、抽风通道及酸碱隔离装置，内部更洁净。

  底部龙门式Robot设计，运载更稳定，运动部件产生的Particle可更快排出设备外。

  长期以来，电子级硅芯硅料清理洗涤设施市场占有率都被外国厂商占有，捷佳伟创作为太阳能光伏电池设备行业领军企业及半导体设备制造商，坚持以研发制造一流专业设备，推动国内相关行业发展为己任。凭借雄厚的研发实力及近年来探索泛半导体行业装备开发经验，接连推出多款性能出众、引领行业的清理洗涤设施。此次电子级硅芯硅料清理洗涤设施研发的过程中，研发人员攻坚克难，突破了诸多关键技术，为设备的成功研发奠定了坚实的技术基础，并成为国内唯一一家达到电子级标准的硅芯硅料清理洗涤设施研发制造商。目前公司已实现表金属0.5ppbw以上等级的电子级硅料批量出货，2024第一季度将推出0.1ppbw以下的产品。

  未来，公司将继续秉承“技术领先，管理领先，服务领先”的发展的策略，继续精进光伏电池生产设备及半导体湿法清理洗涤设施研发，并向更广阔的产品领域和更丰富的技术路线继续发展，为客户提供技术领先、质量过硬、服务非常周到的产品。